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氮化硅陶瓷烧结装备的规格：
额定温度：1600℃-2200℃
工艺气体：Ar/H2/CH4
真空度：≤1Pa
抽空时间：20min（空炉）
充高压时间：最快15min
均温性：±7℃
PLC控制器：Siemens S7
真空机组：机械泵+罗茨泵
炉门和内胆开闭：液压驱动
烧结压力控制：压力可控
脱蜡压力控制：压力可控
冷却方式：炉内热交换器
安装面积：约7×9米
设备用途：硬质合金、粉末冶金、氮化硅陶瓷加压烧结
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